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层流罩的悬浮粒子检测说明 1 层流罩的悬浮粒子检测依据:依据GBT16292-2010医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法 2 层流罩的悬浮粒子测试条件: 2.1 层流罩吸风口≥0.5μm粒子浓度不得小 …
小型FFU中央监控系统说明 FFU中央监控系统按规模一般分为大型,中型及小型系统,我们这里主要介绍小型的FFU中央监控系统,所谓的小型一般指控制规模在1-99台。   小型FFU中央监控系统特 …
一种分体式FFU过滤风机 技术领域 本申请涉及过滤风机的领域,尤其是涉及一种分体式FFU过滤风机。 背景技术 风机过滤单元(FanFilterUnit),是一种自带动力的送风过滤装置,包括风机、管 …
一种具有清洁度可调结构的洁净棚及其实施方法 技术领域 本发明涉及洁净棚技术领域,具体为一种具有清洁度可调结构的洁净棚及其实施方法。 背景技术 洁净棚是为最快速方便建立的一座简易洁净室 …
FFU风机转速调节方法、系统、设备及介质 技术领域 本发明涉及空气净化技术领域,尤其是一种FFU风机转速调节方法、系统、设备及介质。 背景技术 目前有机电致发光材料(OLED)的纯化生产过程,FFU(Fan …
一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构 技术领域 本实用新型涉及湿法设备技术领域,更具体的说是涉及一种适用于湿法设备的FFU系统联动循环结构。 背景技术 湿法设备包括外壳,外壳内包括气流空间 …
一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构 技术领域 本实用新型涉及FFU安装技术领域,更具体的说是涉及一种具有良好导流功能的FFU系统安装结构。 背景技术 半导体设备包括外壳,在外壳内 …
一种弹压嵌合式FFU系统安装结构 技术领域 本实用新型涉及FFU安装技术领域,更具体的说是涉及一种弹压嵌合式FFU 系统安装结构。 背景技术 半导体设备包括外壳,在外壳内通常需要进行湿法化学反应,湿 …
一种风量均匀的FFU装置 技术领域 本申请涉及空气净化装置的领域,尤其是涉及一种风量均匀的FFU装置。 背景技术 FFU(Fan Filter Units),即风机过滤机组,其工作原理为FFU的离心风机将空 …
1、随着生产工艺的不断发展,微电子工业对环境及其配套工程的要求越来越严格,其产品的成品率和可靠性主要取决于材料的纯度和制造环境的洁净度,对洁净技术的要求越来越高。洁净室(区)是指空气悬浮粒子浓度、含菌 …